Formtrace Extreme CS-5000CNC / CS-H5000CNC

525 시리즈 - 표면 조도 / 윤곽 형상 복합 측정기

[특징]

 * 표면 조도와 윤곽 / 형상의 동시 측정이 가능한 고정도 스타일러스 타입 CNC 표면 측정기

 * 1X 축과 Z2 축이 각각 40mm/s와 200mm/s의 최대 구동 속도를 갖는다. 이는 고속 위치 결정을 가능하게 하여 다수 프로파일 / 다수 측정물 측정작업의 처리량을 크게 늘릴 수 있다.

 * 미쓰도요 레이저 홀로 스케일이 X1 축과 Z1축에 통합되어있어 고분해능 [X1축:6.25nm, Z1축:4nm/8nm(CS-5000CNC), 1nm/2m(CS-H5000CNC)]을 얻을 수 있으며 윤곽 / 형상과 표면 조도의 일괄 측정이 가능하다.

 * 액티브 콘트롤법은 Z1 축 검출기의 동적 측정력이 제한되는 다양한 곳에서 광범위한 측정능력을 수행하도록 채택되었다.

* Z1 축 검출기에 충돌 방지 않전 장치를 장착하여, 본체가 측정물 또는 지그와 충돌하는 경우, 검출기 유닛이 자동으로 정지하도록 한다.

 * CS-5000CNC α축이 있는 모델이기 때문에, X1축을 파워틸팅하여 수평 및 경사면에 대한 연속 측정을 수행할 수 있다.

 * Y축 테이블 모델에서는 Y축 방향에서 위치 결정을 하여 복수 측정물에 대한 측정범위를 확대할 수 있다.

* 사용이 편리한 원격 리모트 박스가 있어, 두 개의 조이스틱을 이용해 필요한 축을 선택하고 선택된 축으로 자유롭게 이동 할 수 있다. 현재 선택된 축은 키 상부의 아이콘을 통해 쉽게 확인할 수 있다.

 * 데이터 처리 / 분석 부분과의 통신은 USB를 통해 이루어진다. (옵션)

[사양]

[제품사진]

[테크니컬 데이터]

* X 축
  · 측정범위: 200mm
  · 분해능: 0.00625㎛
  · 측정방식: 레이저 홀로 스케일
  · 구동속도: 최대 40mm/s (CNC 모드에서)
  · 측정속도: 0.02 - 0.2mm/s (표면 조도) / 0.02 - 2mm/s (윤곽 / 형상)
  · 측정방향: 전진 /후진
  · 진직도: 표준 스타일러스 (0.1+0.0015L)㎛ / 2배 길이 스타일러스 (0.2+0.0015L)㎛
  · 리니어 이동 정도 (20℃): ±(0.8+0.01L)㎛ L=드라이브 길이(mm)
  · 측정정도 (20℃인 경우): ±(0.3+0.002L)㎛

 * Z1 축

  · 측정 범위: 12mm (표준 스타일러스) / 24mm (2배 길이 스타일러스)
  · 분해능: 0.004㎛ (표준 스타일러스), 0.008㎛ (2배 길이 스타일러스), 0.001㎛ (표준 스타일러스)(CS-H500CNC), 0.002㎛ (2배 길이 스타일러스) (CS-H500CNC) 
  · 스타일러스 상 / 하: 원호 이동
  · 측정 방식: 레이저 홀로 스케일
  · 측정 정도 (20℃인 경우): ±(0.3+l0.02Hl)㎛  H=측정 높이 (mm)
  · 측정압: 4mN (표준 스타일러스) 0.75mN (2배 길이 스타일러스)
  · 추종 각도: 상승: 60˚, 하강: 60˚ (측정물 표면 조건에 따라 달라짐)
  · 스타일러스 팁: K-25 페이지 참조
  · 스타일러스 면: 하향

 * Z2 축 (컬럼 유닛)

  · 측정 범위: 300mm 또는 500mm * CS-H5000CNC: 300mm 에서만
  · 분해능: 0.05㎛
  · 측정 방식: 반사 타입 리니어 엔코더
  · 구동 속도: 최대 200mm/s (CNC 모드에서) 0 - 50mm/s (조이스틱 제어모드에서)
  · 베이스 크기 (W x D): 750 x 600mm
  · 베이스 재질: 그라나이트

 * Y축
  · 측정범위: 200mm
  · 분해능: 0.05㎛
  · 구동 속도: 최대 200mm/s (CNC모드에서) 0 - 50mm/s (조이스틱 제어모드에서)
  · 최대 하중 중량: 20kg
  · 진직도: 0.5㎛ / 200mm
  · 지시정도 (20℃): ±(2+2L/100)㎛ L=임의적인 두점 사이의 거리 (mm)

 * 무게: 240kg (250kg: 하이컬럼 타입)

[옵션 소프트웨어 FORMTRACEPAK]

  효율적인 측정 자동화 목적으로 옵션인 모터 구동 Y축 테이블과 회전 테이블을 제어할 수 있게 해준다. 레벨 차이 , 각도, 피치, 영역 및 표면 조도 데이터를 바탕으로 한 다른 특성을 분석하게 해주는 윤곽 평가를 수행할 수도 있다. 또한 요구사항에 맞는 인쇄 포맷을 설정함으로써, 검사 성적서 원본을 생성할 수 있다.

[스타일러스]