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![나노미터급 고정밀도 비접촉 금속 현미경 [MTM-3020MA]](https://cdn-saas-web-218-97.cdn-nhncommerce.com/cipworld06_godomall_com/data/goods/15/11/10/6245/1485922688263m0_detail.jpg "나노미터급 고정밀도 비접촉 금속 현미경 [MTM-3020MA]")
![나노미터급 고정밀도 비접촉 금속 현미경 [MTM-3020MA]](https://cdn-saas-web-218-97.cdn-nhncommerce.com/cipworld06_godomall_com/data/goods/15/11/10/6245/t50_1485922688263m0_detail.jpg "나노미터급 고정밀도 비접촉 금속 현미경 [MTM-3020MA]")
상품상세정보
CIP AI ANALYSIS
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NEW 비접촉 금속 현미경 MTM-3020MA
|
● 용도 ● |
|
|
- MTM-3020MA 모델은 금속 현미경으로 육안 및 나노미터급의
● 특징 ● |
● 프로그램 ●
QMS-3DM
- 화면 그레이(모노) 기능
- 오버 레이 차트 기능
- 수동 초점 기능
- 기하공차 해석
- 측정 요소 복사 기능
- 임의 요소 생성 기능
- 이미지 스캔 기능
- 측정 데이터 CAD, 엑셀, 워드 전송
- 최적 조명 조절 기능
- 영상 영역 비교 측정 기능
● 사양 ●
|
구 분 |
MTM-3020MA |
|
|
재물대 크기(mm) |
500x330 |
|
|
유리테이블 크기(mm) |
350x250 |
|
|
X, Y 이동범위(mm) |
300x200 |
|
|
Z 이동범위/수동(mm) |
120 |
|
|
Z 이동범위/자동(mm) |
2 |
|
|
배율오차 |
왜곡 오차 포함 ≦0.08% |
|
|
정밀도(㎛) |
E1xy=(2.5+L/100) |
|
|
분해능/수동(㎛) |
0.5 |
|
|
Z 분해능/자동(㎛) |
0.1 |
|
|
조 명 |
표면 및 투과조명 모두 LED조명으로 밝기 조절 가능 |
|
|
프로그램 |
QMS-3DM |
|
|
무 게(kg) |
130 |
|
|
본체크기(LxWxHmm) |
825x660x910 |
|
|
육안 시스템 |
영상 시스템 |
|
|
대물렌즈 |
5X, 10X, 20X, 50X |
5X, 10X, 20X, 50X, 10X Mirau (옵션) |
|
접안렌즈 |
10X |
1/2" CCD |
|
총 확대배율 |
50X ~ 500X |
142.5X ~ 1425X (19.5" 1440*900) |
※ 렌즈 옵션 사양 (10X Mirau)
● 단층 투명막 두께 측정 모듈 ●
|
|
고정밀 측정모드 |
쾌속 측정모드 |
||
|
두께 측정 범위 |
100㎚ ~ 300㎚ |
300㎚ ~ 500㎚ |
500㎚ ~ 3㎛ |
3㎛ ~ 20㎛ |
|
분해능 |
5㎚ |
5㎚ |
7.5㎚ |
0.1㎛ |
※ 10X Mirau 대물렌즈 사용시 두께 측정 가능 (전용 프로그램 사용)
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이미지 확대보기나노미터급 고정밀도 비접촉 금속 현미경 [MTM-3020MA]
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